总。
杨东升想了想道,“把光刻机的研究进度给他们看看!”
半导体产业四大核心设备——光刻机、离子注入机、刻蚀机、薄膜沉积机,这其中光刻机是最经常被人提及的,原因很简单,因为光刻机是最难的。
杨东升也是正式涉足光刻机领域后,才知道这一块有多难。
如果是追着外国人的屁股研究的话,他们永远别想赶上别人,而且永远也别想盈利,他们无论做出何种等级的设备,西方国家马上就会解除对同等设备的禁运,一点市场也别想拿到。
得益于杨东升的先知先觉,东升半导体决定直接上马极紫外线光刻相关技术。
杨东升敢这么做,是因为光刻机不是必须做出第一代设备,才能做第二代设备。
光刻机三大核心部件——光源、镜头、工作台。
其中的关键技术光源,深紫外线使用的是准分子激光,跟下一代极紫外线光源关联很少!
而且准分子激光技术应用很广泛,此项技术不止美国一家掌握,想绕过美国相对简单,相比之下极紫外线光源技术就比较妖孽了。
后世阿斯麦的极紫外线光刻机,使用的光源是采用激光持续轰击锡滴产生的。
由于锡滴发光效率很低,极紫外线又只占所有光线的百分之几,因此必须使用足够强的激光轰击锡滴,才能发出足够的光——至少得是3万瓦以上,而且还得持续不停的轰击。
大功率激光问题,准确命中锡滴……每一项都是要命的技术。
在镜头上,极紫外线也与深紫外线有很大不同,极紫外线非常容易被吸收,深紫外线阶段使用的透镜式镜头已经不能使用了,因为镜头材料直接会把极紫外线吸收掉,必须使用反射式镜头。
由于极紫外线的波长只有十几个纳米,镜头纳米级精度已经不够用了。
极紫外线用的反射式镜头,精度必须达到皮米级。
必须要用等离子抛光设备,这东西中国没有,国外也买不来,只能自己造。
镜头上还要镀膜,把极紫外光以外的其他光线,通过镀膜吸收掉。
这种规格的镀膜机,也买不来,杨东升也得自己造。
这些还不算完,由于极紫外线非常容易被吸收,即便空气也会吸收极紫外线,所以整个工作环境必须保持高度真空。
光刻机内部必须先使用普通真空泵抽一遍,再用分子真空泵抽一遍,这还不够,必须还得用吸附式方法,再抽一遍。
杨东升敢把还在研制中的技术,拿给他们看的原因就是光刻机的整体构造,其实没什么秘密可言,考验的就是实打实的工业实力。
这其实是最讨厌的地方!
中国进口了上千台航空发动机,但是对自身航空发动机技术的提升,几乎没有任何作用,就是同样的原因。
很多人以中国做不出极紫外线光刻机嘲笑中国科技,中国确实做不出来,但是美国人独自也做不出来极紫外线光刻机。
荷兰阿斯麦的极紫外线光刻机使用的是美国的光源,德国的镜头,瑞典的轴承,法国的阀件……可以说集合了西方所有发达国家先进技术于一身。
看似没有秘密,其实到处都是秘密!
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